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校準過程中，校準點數通常取6～11，校準循環次數通常取3～5，具體大小取決于被校傳感器的精度和使用要求。
2、校準實驗系統設計
儀器校準實驗系統由高低溫真空試驗裝置和上位機人機軟件組成，其中使用壓力薄膜規和鎳鉻熱電偶分別作為壓力、溫度參量基準，使用解調模塊讀出被校傳感器的輸出，系統結構如圖2所示。
拿出ES31E儀表來，此時旋轉關在OFF檔位，關機狀態中。測量土壤電阻率，就把旋轉關旋轉到ρE檔，將會顯示.Ωm，測量接地電阻就旋轉到RE檔，接地電壓就VE檔。把接地棒打到土壤下，線上有鉗子的一端鉗住接地棒，還要再打三根接地棒。共：紅，黃，綠，黑四根線。接地線的按照H,S,ES,E順序成一直線排列，每個接地棒之間距離為5米。紅，黃，綠，黑對應儀表上的顏色插口就行。按SET鍵設置好距離，如5米。
(1) 高低溫真空實驗裝置
高低溫真空實驗裝置是為了模擬傳感器實際測量環境而專門設計的，可以實現壓力、溫度的復合加載，由腔體、壓力控制系統、溫度控制系統和水冷循環系統等部分組成。
1) 腔體結構
腔體是高低溫試驗裝置的核心部分，通過隔板分為載荷室和環境室兩個腔室。載荷室模擬傳感器前端接觸到的外界環境，如高溫、近真空、微小壓力，即殼體外表面環境;環境室模擬傳感器后端的工作環境，也就是殼體內部的環境。腔室結構示意圖如圖3所示。
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兩線變送器的電源連接在變送器的輸出端。兩線變送器調制電源的電流從4?20mA，和輸入端成比例。兩線變送器的供電電源一般從24V~96V。大的電源可以使輸出端的環路負載能力加大很多。環路電源隔離器的現場檢測福祿克多功能校驗儀787具有獨特的電流模擬功能。當連接至外部電源時，可以讓您在0?24mA之間地控制電流?，F場檢測環路電源隔離器時，兩線環路變送器向隔離器的電流信號可以被移去，而福祿克多功能校驗儀可以用模擬方式控制環路電流（)步連接福祿克多功能校驗儀1、將變送器主環路斷，把福祿克多功能校驗儀的測試線插入模擬(Simulate)插口并接入環路。
為了實現對載荷室溫度、壓力的復合加載，在載荷室的四周放置鎳鉻加熱板加熱，并帶有熱屏蔽板，使用兩根鎳鉻熱電偶測量載荷室環境溫度，作為參考溫度基準。在室溫～375 00℃的范圍內，其測量精度為0.4%。通過壓力控制系統調節載荷室內環境壓力，使用MKS公司626系列壓力薄膜規作為參考壓力基準，其壓力測量范圍0.2～266 Pa,測量精度0.12%。
2) 壓力控制系統
壓力控制系統能夠將載荷室和環境室抽至高真空狀態，此外還可以調節載荷室內環境壓力。它由機械泵、分子泵、限流閥、壓控儀、氣體流量計等部件組成。其中限流閥、壓控儀用于腔室內壓力的控制，氣體流量計用于調節補氣流量大小。
系統控制邏輯如圖4所示。壓控儀接收參數設置信號，與薄膜規測量信號進行比較，根據比較結果調節限流閥度的大小，經過不斷地調節控制*終達到動態平衡，使得載荷室內氣壓等于設定壓力值。此外，可以根據設定壓力的大小調節補氣閥度大小，例如若要達到一個較大的壓力值，則可以適當增大補氣流量，使得載荷室內氣壓更快地上升到設定壓力。
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同時集成高精度功率計，實現高達99次的諧波分析與實時的電氣測試測量；配備GUI監控軟件，可對交流電源進行實時監控，并多元的簡捷操作體驗。高性能可編程交流電源適用于電子產品研發、認證、生產檢驗等階段的測試，集成完善的保護功能（OVP/OCP/OPP/OTP等），可輕松應對復雜的測試應用。PSA系列高性能可編程交流電源特色：輸出交流電壓范圍：~15/~3Vrms；輸出直流電壓范圍：~212/~424V；輸出頻率范圍：1~2Hz；交流輸出功率：2~21KVA；測試精度，可達.2%；高功率密度設計，4U/6KW/3-phase；輸出模式：ADAC+DC；W交流電源自由切換單相或三相模式；可調初始/結束相位角、電壓變化率；集成List、Step、線路等功能，實現電壓波動輸出；集成高精度功率計，可實時量測如電壓、電流、功率等電氣參數 9等標準的電壓波動測試（專業版）；諧波、寬基波頻率，高達5階諧波， 模擬失真電網（專業版）；強大諧波分析功能，高達99階諧波成分分析；USB接口支持導入導出，包括系統參數、波形庫、編程波形參數；內置多種類型波形數據，可快捷調用（專業版）；支持多機并聯輸出，可實現大功率單相或三相交流電源；標配RS-232/USB/Ethernet等通訊接口；交流電源標準版與專業版，滿足多種應用場景的需求。
3) 溫度控制系統
系統采用鎳鉻加熱板加熱，通過調節加熱電流的大小達到控溫的目的。加熱電源采用PID控制系統，可以使載荷室從室溫快速加溫到800℃，并且溫度可調、控溫。
4) 水冷循環系統
系統配有水冷循環系統用于系統整體的冷卻，其中載荷室配置TC WS制冷循環水機，控溫范圍為10～27℃，給腔室、分子泵等穩定的制冷循環水，保證設備穩定運行。
(2) 上位機人機軟件
為了方便高溫微壓力傳感器的儀器校準試驗，我們使用FameView組態軟件編寫了上位機人機軟件。該軟件主要用于實時監控載荷室和環境室的壓力、溫度狀況，此外還具有數據存儲功能。軟件通過RS232協議與PLC進行通信，經由PLC控制高低溫真空試驗裝置各個組件，實現了通過計算機遠程控制的目的。
圖5為該軟件載荷室壓力監控界面，當壓力設定增大時，由于需要補氣故響應速度較慢，相比之下，壓力設定減小時響應迅速。
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θjA是相對于環境溫度的結點熱阻抗，基于印刷電路板(攝氏度/W)的封裝，通常是在150℃的典型結溫(有些部件的結溫可能較低，需在數據表上確認)條件下計算出來的。所需θjA應為如下方程式：≤(結溫-工作溫度)/Pd(等式2)。濾掉封裝中的器件，這樣θjA比滿足此初始結溫要求的上述計算結果要低。在結溫時操作會影響其可靠性。視電路板、氣流、環境和附近的其他熱源而定，留一定的余量始終是一個很好的設計實踐。
