珠海測試儀器計量認證機構
校準過程中，校準點數通常取6～11，校準循環次數通常取3～5，具體大小取決于被校傳感器的精度和使用要求。
2、校準實驗系統設計
儀器校準實驗系統由高低溫真空試驗裝置和上位機人機軟件組成，其中使用壓力薄膜規和鎳鉻熱電偶分別作為壓力、溫度參量基準，使用解調模塊讀出被校傳感器的輸出，系統結構如圖2所示。
一丁點劇化學品的泄漏足以致人死亡，足以毀掉整個原生態。有鑒于此，有化學品在工業中日漸被禁止。但在現階段的采礦業中，和硫酸等有化學品還是廣泛地使用。于是，如何在極短的時間內發現有化學品的泄漏，是監測儀器商的使命，也是他們的商機。 近加拿大分析技術 IntelliView發出用于監控地上設施的DCAM?雙攝像頭分析解決方案。IntelliView利用FLIRA65熱像儀，是為金礦采行業打造了一款根據溫度和發射率差異發現表面液體泄漏的先進解決方案。
(1) 高低溫真空實驗裝置
高低溫真空實驗裝置是為了模擬傳感器實際測量環境而專門設計的，可以實現壓力、溫度的復合加載，由腔體、壓力控制系統、溫度控制系統和水冷循環系統等部分組成。
1) 腔體結構
腔體是高低溫試驗裝置的核心部分，通過隔板分為載荷室和環境室兩個腔室。載荷室模擬傳感器前端接觸到的外界環境，如高溫、近真空、微小壓力，即殼體外表面環境;環境室模擬傳感器后端的工作環境，也就是殼體內部的環境。腔室結構示意圖如圖3所示。
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Rogowski線圈是以德國物理學家WalterRogowski命名，用于測量交流電電器設備，我們通常也會叫柔性線圈、羅氏線圈或者洛氏線圈。對于這一技術常見的使用場景有：脈沖電流、工頻正弦電流、高速瞬間、交流電流、高次諧波電流、復雜波形電流、瞬態沖擊電流、啟動電流、相位、電能、功率和功率因數等檢測。ETCR銥泰科技推出ETCR-FA和ETCR-FB系列柔性線圈，可搭配ETCR1F分離式柔性線圈積分器使用。
為了實現對載荷室溫度、壓力的復合加載，在載荷室的四周放置鎳鉻加熱板加熱，并帶有熱屏蔽板，使用兩根鎳鉻熱電偶測量載荷室環境溫度，作為參考溫度基準。在室溫～375℃的范圍內，其 ，其測量精度為0.4%。通過壓力控制系統調節載荷室內環境壓力，使用MKS公司626系列壓力薄膜規作為參考壓力基準，其壓力測量范圍0.2～266 Pa,測量精度0.12%。
2) 壓力控制系統
壓力控制系統能夠將載荷室和環境室抽至高真空狀態，此外還可以調節載荷室內環境壓力。它由機械泵、分子泵、限流閥、壓控儀、氣體流量計等部件組成。其中限流閥、壓控儀用于腔室內壓力的控制，氣體流量計用于調節補氣流量大小。
系統控制邏輯如圖4所示。壓控儀接收參數設置信號，與薄膜規測量信號進行比較，根據比較結果調節限流閥度的大小，經過不斷地調節控制*終達到動態平衡，使得載荷室內氣壓等于設定壓力值。此外，可以根據設定壓力的大小調節補氣閥度大小，例如若要達到一個較大的壓力值，則可以適當增大補氣流量，使得載荷室內氣壓更快地上升到設定壓力。
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磁保持繼電器是近幾年發展起來的一種新型的繼電器，也是一種自動關。和其他電磁繼電器一樣，對電路起著自動接通和切斷作用。所不同的是，磁保持繼電器的常閉或常狀態完全是依賴 磁鋼的作用，其關狀態的轉換是靠一定寬度的脈沖號觸發而完成的。磁保持繼電器分為單相和三相。據有關介紹，目前市場上的磁保持繼電器的觸點轉換電流可達15A;控制線圈電壓分為DC9V、DC12V等。一般電器壽命1次;機械壽命1次;觸點接觸壓降1mV。
3) 溫度控制系統
系統采用鎳鉻加熱板加熱，通過調節加熱電流的大小達到控溫的目的。加熱電源采用PID控制系統，可以使載荷室從室溫快速加溫到800℃，并且溫度可調、控溫。
4) 水冷循環系統
系統配有水冷循環系統用于系統整體的冷卻，其中載荷室配置TC WS制冷循環水機，控溫范圍為10～27℃，給腔室、分子泵等穩定的制冷循環水，保證設備穩定運行。
(2) 上位機人機軟件
為了方便高溫微壓力傳感器的儀器校準試驗，我們使用FameView組態軟件編寫了上位機人機軟件。該軟件主要用于實時監控載荷室和環境室的壓力、溫度狀況，此外還具有數據存儲功能。軟件通過RS232協議與PLC進行通信，經由PLC控制高低溫真空試驗裝置各個組件，實現了通過計算機遠程控制的目的。
圖5為該軟件載荷室壓力監控界面，當壓力設定增大時，由于需要補氣故響應速度較慢，相比之下，壓力設定減小時響應迅速。
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據悉，這臺紅外測溫樣機由紅外探測鏡頭、紅外測溫芯片、紅外標校黑體、可見光成像系統、智能控制終端等部分組成，經過軟硬件調試和不同場景試驗驗證，可滿足5m距離下，對公樓門口、小區大門口、出入閘口等多位行人的批量無感監測篩查需求，測溫精度有優于±.3°。早在抗擊 期間，國內研究機構、企業便紛紛研制生產可用于非接觸、快速、大面積排查的紅外測溫儀，當視場內有高溫個體通過時，儀器可指示高溫個體位置，并發出示。
