計量器具校準連云港-審廠

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世通儀器關于高溫微壓力傳感器校準實的研究

在航天領域，常常需要在惡劣環境下實時測量環境的各種相關參量，其中就包括微小壓力測量。由于測試工作處于高溫、高熱流、強電磁干擾、劇烈振動等惡劣的條件下，并且待測壓力微小，此外還要求小型化、低功耗，故而傳統的硅微壓力傳感器已難以滿足測試需求。

所以，真正的RJ可能只占高斯模型的抖動的一部分，測量中RJ可能被放大了，同時總抖動也會被放大。抖動測量時鐘抖動通常有三種測量方法，對應于TIE(TimeIntervalError時間間隔誤差)、period(周期抖動)和Cycle-Cycle(相鄰周期抖動)三種抖動指標。TIE抖動(時間間隔誤差)，以被測時鐘沿與理想時鐘沿之間的時間差為樣本，即以圖中的TIEn為樣本，通過對很多個樣本進行統計分析，表征時鐘沿與理想時鐘沿偏離值的變化、分布情況，如下圖所示：PeriodJitter(周期抖動)，以時鐘信號的周期樣本，即以圖中的Pn樣本，通過對很多個樣本進行統計分析，表征時鐘信號周期Pn的變化、分布情況，對于保證數字系統中的建立保持時間規范很有意義。
相比之下光纖壓力傳感器有著無可比擬的優勢:測量精度高、抗電磁干擾能力良好、絕緣性能好、性能穩定等，因此光纖壓力傳感器*接近測試需求。F-P光纖壓力傳感器更是以極高的測量靈敏度和精度、成熟的微壓測量技術成為*，且只需在探頭結構上輔以耐高溫技術手段，使其能夠適應高溫環境，即能*終滿足測試的要求。

高溫微壓力傳感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高溫材料外殼和支撐架，部件連接采用固體焊接等耐高溫工藝，實現了在無引壓管情況下對800℃高溫介質微小壓力的直接測量，并且通過對性敏感組件等易損件采取專門的限位、加固措施，提高了抗沖擊、振動能力。
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如何可靠地校準這些校準器，保證可靠地量值溯源性，是一項技術性很強的工作。目前國內各有些校準實驗室在校準這些校準器的工作中，還存在一些問題。有時候，其校準不確定度并不能滿足技術要求。本文對這些問題了分析，并提出了解決方法。存在的問題校準儀器時，有一個 基本的要求，就是要求被校儀器的不確定度遠大于校準標準的不確定度。它們之間的比率稱為不確定度比率TUR。一般要求TUR至少大于4:1或者3:1。達到要求，可以展校準或檢定；達不到要求，只能進行儀器間的比對測量。
為了在地面實驗室模擬傳感器的實際測量環境，我們設計了一種適用于高溫微壓力傳感器的儀器校準實驗系統，通過高低溫真空試驗裝置和人機軟件的結合，為儀器校準了一個穩定可靠、安全便捷的實驗。

1、傳感器測量原理

(1) 微壓力測量原理

高溫微壓力傳感器采用的是F-P干涉敏感原理，根據Fabry-Perot共振效應，F-P共振腔反射光的波長變化與兩反射面之間的距離呈函數關系。如圖1所示，為傳感器原理示意圖，感壓反射面及其支撐膜片和靜止反射面就構成了一個完整的F-P共振式壓力敏感結構。根據薄膜性形變原理，壓力敏感膜片在外界壓力的作用下發生形變，從而改變F-P腔腔長，引起干涉譜變化，通過測量干涉光譜，即可得到作用在壓力敏感膜上的壓力變化，從而達到測量壓力的目的。該結構的特點是靈敏度極高，可感受兩個鏡面之間納米級的位移變化，可滿足500 Pa微小壓力的測量需要。

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尤其是在以下兩種情況下，非常不建議采用兩線制測試：測試導線過長，R1R2偏大，有時甚至會高出被測電阻，兩線制測試極易導致結果錯誤；被測電阻Rb為低阻值時，饋線電阻的影響會比平時更大，也容易造成讀數誤差較大。蓄電池的內阻很小，2V電芯的典型內阻為.3mΩ，所以對于此類阻值的測量，需要采用更的測試方法。四線制測試原理四線制測試法即為爾文測試法。如下圖所示，爾文連接有兩個要求：對于每個測試點都有一條激勵線和一條檢測線,二者嚴格分，各自構成獨立回路：激勵回路用于測定流過Rb的電流I1，檢測回路用于測定Rb兩端的電壓V34，因電壓表的內部阻抗遠遠大于檢測回路的饋線電阻R3和R4，因此流經電壓表的電流I2幾乎為零，所量到的電壓V34也幾乎是Rb本身的壓降。

(2) 傳感器的儀器校準原理

在傳感器探頭確定的情況下，參數k1,k的值可以通過公式直接計算求得，而溫度敏感系數k2以及補償修正常數C則需要通過校準實驗才能確定。

將被校傳感器與壓力、溫度標準具置于同一載荷環境，通過標準具得到壓力、溫度的標準量，通過解調模塊得到傳感器的輸出值。將標準輸人量與被校傳感器的輸出值繪制成傳感器的校準曲線，再根據校準數據采用*小二乘法確定傳感器的工作直線，用工作直線反映傳感器的輸人和輸出之間的關系，從而確定k2及C的取值。通過校準曲線與工作直線的比較，可以計算得到被校傳感器的靜態基本性能指標。

計量器具校準連云港-審廠 云計算的帶寬需求比節點分析應用多出兩個（如果不是三個）數量級。節點分析的計算能力要求更低，并可減少延遲。人口稠密的市場、交通混亂的地區以及城市停車場都是一些環境錯綜復雜的地方，可使用節點分析進行檢測，以進行預測和行為分析。在云中對這些環境進行 有助于制定業務策略，疏導交通流量，并可提高管理的停車場的效率。然而，在傳感器節點處采用低端軟件，而不是執行云分析，可這些場景的延遲、帶寬、安全和功耗。