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世通儀器關于高溫微壓力傳感器校準實的研究

在航天領域，常常需要在惡劣環境下實時測量環境的各種相關參量，其中就包括微小壓力測量。由于測試工作處于高溫、高熱流、強電磁干擾、劇烈振動等惡劣的條件下，并且待測壓力微小，此外還要求小型化、低功耗，故而傳統的硅微壓力傳感器已難以滿足測試需求。

數字存儲示波器的原理組成框圖輸入的電壓信號經耦合電路后送至前端放大器，前端放大器將信號放大，以提高示波器的靈敏度和動態范圍。放大器輸出的信號由取樣/保持電路進行取樣，并由A/D轉換器數字化，經過A/D轉換后，信號變成了數字形式存入內存中，微器對內存中的數字化信號波形進行相應的，并顯示在顯示屏上。這就是數字存儲示波器的工作過程。采樣、采樣速率我們知道，計算機只能離散的數字信號。在模擬電壓信號進入示波器后面臨的首要問題就是連續信號的數字化（模/數轉化）問題。
相比之下光纖壓力傳感器有著無可比擬的優勢:測量精度高、抗電磁干擾能力良好、絕緣性能好、性能穩定等，因此光纖壓力傳感器*接近測試需求。F-P光纖壓力傳感器更是以極高的測量靈敏度和精度、成熟的微壓測量技術成為*，且只需在探頭結構上輔以耐高溫技術手段，使其能夠適應高溫環境，即能*終滿足測試的要求。

高溫微壓力傳感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高溫材料外殼和支撐架，部件連接采用固體焊接等耐高溫工藝，實現了在無引壓管情況下對800℃高溫介質微小壓力的直接測量，并且通過對性敏感組件等易損件采取專門的限位、加固措施，提高了抗沖擊、振動能力。
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后期數據分析在完成封閉場地測試后，測試工程師們會對測試數據進行后期分析，并繪制非常直觀的數據分析圖?？梢詮姆治龊蟮臄祿锌闯鲎詣玉{駛車輛與目標是否發生碰撞，自動駕駛車輛在以一定的加速度減速至速度為0時與目標之間是否還有一定的安全距離，其是否滿足《重慶市自動駕駛道路測試準入測試規范》中對于自動緊急制動的要求。展望相信在如此嚴格且規范的自動駕駛測試下，重慶的自動駕駛上路是安全的，請對祖國的自動駕駛技術充滿希望與期待，就在不遠的未來，自動駕駛技術定能為人們的生活帶來巨大改變。
為了在地面實驗室模擬傳感器的實際測量環境，我們設計了一種適用于高溫微壓力傳感器的儀器校準實驗系統，通過高低溫真空試驗裝置和人機軟件的結合，為儀器校準了一個穩定可靠、安全便捷的實驗。

1、傳感器測量原理

(1) 微壓力測量原理

高溫微壓力傳感器采用的是F-P干涉敏感原理，根據Fabry-Perot共振效應，F-P共振腔反射光的波長變化與兩反射面之間的距離呈函數關系。如圖1所示，為傳感器原理示意圖，感壓反射面及其支撐膜片和靜止反射面就構成了一個完整的F-P共振式壓力敏感結構。根據薄膜性形變原理，壓力敏感膜片在外界壓力的作用下發生形變，從而改變F-P腔腔長，引起干涉譜變化，通過測量干涉光譜，即可得到作用在壓力敏感膜上的壓力變化，從而達到測量壓力的目的。該結構的特點是靈敏度極高，可感受兩個鏡面之間納米級的位移變化，可滿足500 Pa微小壓力的測量需要。

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對于逆變器的發電量監控，大多數監控系統采用的是樹形結構的展現方式來表示該電站下的逆變器個數，一個逆變器對應一個或者多個光伏方陣，方陣卻采用樹形結構的方式來展現，顯得不太直觀。發明內容本發明的目的是克服了上述現有技術的缺點，了一種密切結合光伏方陣本質結構、用戶能夠更直觀看到現場和集控統可以如實的看到該光伏電站下的所有逆變器發電量的健康狀態以及光伏電站下的某個時間所有逆變器的發電量信息的光伏電站逆變器系統運行狀態監測的可視化方法。

(2) 傳感器的儀器校準原理

在傳感器探頭確定的情況下，參數k1,k的值可以通過公式直接計算求得，而溫度敏感系數k2以及補償修正常數C則需要通過校準實驗才能確定。

將被校傳感器與壓力、溫度標準具置于同一載荷環境，通過標準具得到壓力、溫度的標準量，通過解調模塊得到傳感器的輸出值。將標準輸人量與被校傳感器的輸出值繪制成傳感器的校準曲線，再根據校準數據采用*小二乘法確定傳感器的工作直線，用工作直線反映傳感器的輸人和輸出之間的關系，從而確定k2及C的取值。通過校準曲線與工作直線的比較，可以計算得到被校傳感器的靜態基本性能指標。

儀器外?；窗?認證公司關機泄漏電流與待機功耗以IT6412電池供給此模塊使用的4.8V，在模塊保持關機未機時量測其電流值，可發現此時模塊的泄漏電流為247uA。由于心率計為模塊式，所以打關即進入工作模式，故未有待機功耗問題。如為穿戴式裝置在機后會處于待機模式（未啟任何功能），此時量測到的電流值即待機電流。工作電流與功耗將心率計模塊啟后即進入工作模式。此時可由IT6412電源器上的高分辨率電流表看出平均工作電流約為134mA。