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測試設備校正漢中-認證中心測試設備校正校準過程中，校準點數通常取6～11，校準循環次數通常取3～5，具體大小取決于被校傳感器的精度和使用要求。

2、校準實驗系統設計

儀器校準實驗系統由高低溫真空試驗裝置和上位機人機軟件組成，其中使用壓力薄膜規和鎳鉻熱電偶分別作為壓力、溫度參量基準，使用解調模塊讀出被校傳感器的輸出，系統結構如圖2所示。

LabVIEW了一門編程語言所擁有的語法功能，只是它以圖形的方式。LabVIEW基本由一個個VI文件組成。每個VI由前面板和程序框圖組成?？梢詮膬蓚€角度來理解VI文件：從用戶交互來說，前面板負責設計用戶交互界面，類似UI設計工具，一般包括用戶操作控件和輸出結果控件，像文本框、按鈕、波形顯示控件等；而程序框圖負責將用戶的操作經過一系列的，并 終輸出結果，顯示在前面板上。從功能模塊來說，每個VI文件類似于C語言中的一個函數，前面板用來設計函數的參數(輸入)和返回值(輸出)，程序框圖類似函數體，實現具體邏輯。

(1) 高低溫真空實驗裝置

高低溫真空實驗裝置是為了模擬傳感器實際測量環境而專門設計的，可以實現壓力、溫度的復合加載，由腔體、壓力控制系統、溫度控制系統和水冷循環系統等部分組成。

1) 腔體結構

腔體是高低溫試驗裝置的核心部分，通過隔板分為載荷室和環境室兩個腔室。載荷室模擬傳感器前端接觸到的外界環境，如高溫、近真空、微小壓力，即殼體外表面環境;環境室模擬傳感器后端的工作環境，也就是殼體內部的環境。腔室結構示意圖如圖3所示。

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在智能的關鍵技術當中，智能產品與智能服務可以幫助企業帶來商業模式的創新；智能裝備、智能產線、智能車間到智能工廠，可以幫助企業實現生產模式的創新；智能研發、智能管理、智能物流與鏈則可以幫助企業實現運營模式的創新；而智能決策則可以幫助企業實現科學決策。智能的十項技術之間是息息相關的，企業應當漸進式、理性地推進這十項智能技術的應用。智能產品智能產品通常包括機械、電氣和嵌入式軟件，具有記憶、感知、計算和傳輸功能。

為了實現對載荷室溫度、壓力的復合加載，在載荷室的四周放置鎳鉻加熱板加熱，并帶有熱屏蔽板，使用兩根鎳鉻熱電偶測量載荷室環境溫度，作為參考溫度基準。在室溫～375℃的范圍內，其測量精度為±1.5℃;在375～800℃的范圍內，其測量精度為0.4%。通過壓力控制系統調節載荷室內環境壓力，使用MKS公司626系列壓力薄膜規作為參考壓力基準，其壓力測量范圍0.2～266 Pa,測量精度0.12%。

2) 壓力控制系統

壓力控制系統能夠將載荷室和環境室抽至高真空狀態，此外還可以調節載荷室內環境壓力。它由機械泵、分子泵、限流閥、壓控儀、氣體流量計等部件組成。其中限流閥、壓控儀用于腔室內壓力的控制，氣體流量計用于調節補氣流量大小。

系統控制邏輯如圖4所示。壓控儀接收參數設置信號，與薄膜規測量信號進行比較，根據比較結果調節限流閥度的大小，經過不斷地調節控制*終達到動態平衡，使得載荷室內氣壓等于設定壓力值。此外，可以根據設定壓力的大小調節補氣閥度大小，例如若要達到一個較大的壓力值，則可以適當增大補氣流量，使得載荷室內氣壓更快地上升到設定壓力。

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而有些泄漏又非常隱蔽，除了微小的不容易聽到聲響之外，“隱蔽”的泄漏往往發生在工作場所背景噪聲較大的環境中。以上所有的泄漏，組成了整個系統中的泄漏源。事實上，早在1995年，美國能源部就發起了壓縮空氣挑戰活動，以幫助工業領域的壓縮空氣使用量在21年前減少1%。他們指出，壓縮空氣是工廠內成本的公用資源之一，在美國所生產的所有壓縮空氣中，存在3%的泄漏損失。他們估計每年的成本約為32億美元。常見的壓縮空氣泄露通常發生在以下這些部位：管道接頭、快插接頭壓力調節器（FRL）經常打的冷凝水排放閥破損的軟管，破裂的管道工廠里的泄漏無所不在，如果一個工廠希望消除泄漏幾乎不可能，我們能夠到的就是將壓縮空氣的泄漏控制在一個合理的范圍內。

3) 溫度控制系統

系統采用鎳鉻加熱板加熱，通過調節加熱電流的大小達到控溫的目的。加熱電源采用PID控制系統，可以使載荷室從室溫快速加溫到800℃，并且溫度可調、控溫。

4) 水冷循環系統

系統配有水冷循環系統用于系統整體的冷卻，其中載荷室配置TC WS制冷循環水機，控溫范圍為10～27℃，給腔室、分子泵等穩定的制冷循環水，保證設備穩定運行。

(2) 上位機人機軟件

為了方便高溫微壓力傳感器的儀器校準試驗，我們使用FameView組態軟件編寫了上位機人機軟件。該軟件主要用于實時監控載荷室和環境室的本期大講臺將詳細解讀直流有刷電機和直流無刷電機的優缺點、設計要素等相關內容。有刷DC電機刷式直流電機是現有歷史 久的電機拓撲之一。它們將固定刷子在定子機座上，摩擦轉子上的換向片，而后者又連接至旋轉的線圈段。隨著電機旋轉，不同轉子線圈不斷連接和斷，這樣轉子產生的凈磁場相對于定子機座就是固定的，且通過定子磁場正確定向，從而產生扭矩。當換向片旋轉過刷子時，這些特定轉子線圈段的電觸頭將會斷。由于轉子線圈是電感的，而電感器生成高回掃電壓來抵抗電流變化，因此刷子和斷的換向片之間會產生火花。壓力、溫度狀況，此外還具有數據存儲功能。軟件通過RS232協議與PLC進行通信，經由PLC控制高低溫真空試驗裝置各個組件，實現了通過計算機遠程控制的目的。

圖5為該軟件載荷室壓力監控界面，當壓力設定增大時，由于需要補氣故響應速度較慢，相比之下，壓力設定減小時響應迅速。

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所謂智能傳感器，就是指傳感器在基本的功能之外，具有自動調零、自校準、自標定功能，同時具備邏輯判斷和信息能力，能對被測量信號進行信號調理或信號。與國外相比，我國智能傳感器的研究主要集中在以下幾方面：一是采用先進的微電子技術、計算機技術，研究發出將傳感器和微器結合、具有各種功能的單片集成化智能傳感器，這是當前智能傳感器的主要發展方向之一；二是針對傳感器的材料，利用生物工藝和納米技術，發分子和原子生物傳感器，這將為以后智能傳感器的發展奠定基礎；三是整合芯片技術，結合敏感電子元件，研發出混合型集成智能傳感器，這種傳感器精度更高、成本更低、穩定性更好。