量器具校驗泰州-審廠

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世通儀器關于高溫微壓力傳感器校準實的研究

在航天領域，常常需要在惡劣環境下實時測量環境的各種相關參量，其中就包括微小壓力測量。由于測試工作處于高溫、高熱流、強電磁干擾、劇烈振動等惡劣的條件下，并且待測壓力微小，此外還要求小型化、低功耗，故而傳統的硅微壓力傳感器已難以滿足測試需求。

，安防系統可能使用熱電紅外傳感器(PIR)和/或基于微波的運動檢測器，在檢測到運動時觸發報。通常，報系統為一個閉環并且本身就是一個“孤島”。獨立系統的功能有限，并且通常帶來冗余硬件產生的額外成本負擔。圖1：獨立系統的功能有限，并且通常帶來冗余硬件產生的額外成本負擔。如果可通過與主要功能完全不同的其他系統連接來共享關鍵傳感器，則可在不犧牲性能或功能的情況下實現更 別的自主操作和節能。
相比之下光纖壓力傳感器有著無可比擬的優勢:測量精度高、抗電磁干擾能力良好、絕緣性能好、性能穩定等，因此光纖壓力傳感器*接近測試需求。F-P光纖壓力傳感器更是以極高的測量靈敏度和精度、成熟的微壓測量技術成為*，且只需在探頭結構上輔以耐高溫技術手段，使其能夠適應高溫環境，即能*終滿足測試的要求。

高溫微壓力傳感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高溫材料外殼和支撐架，部件連接采用固體焊接等耐高溫工藝，實現了在無引壓管情況下對800℃高溫介質微小壓力的直接測量，并且通過對性敏感組件等易損件采取專門的限位、加固措施，提高了抗沖擊、振動能力。
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系統基于全制式全覆蓋的測試能力可解決物聯網產業鏈的測試難題，具體包括芯片模組測試、基站綜合測試、產線測試等多個環節。典型測試場景如下：發射機指標測試：UE發射功率UE指的是NB-IOT的終端產品，包括NB-IOT模塊以及使用了這些模塊的各種終端。UE占用帶寬，占用帶寬指的是分配信道之內測量的99%積分平均功率時對應的信號帶寬。NB-IOT下行信號占用帶寬典型測試UE發射ACLR相鄰信道泄漏比，這個測來判定終端產品是否有可能對相鄰(或高或低)信道中的接收機產生干擾。
為了在地面實驗室模擬傳感器的實際測量環境，我們設計了一種適用于高溫微壓力傳感器的儀器校準實驗系統，通過高低溫真空試驗裝置和人機軟件的結合，為儀器校準了一個穩定可靠、安全便捷的實驗。

1、傳感器測量原理

(1) 微壓力測量原理

高溫微壓力傳感器采用的是F-P干涉敏感原理，根據Fabry-Perot共振效應，F-P共振腔反射光的波長變化與兩反射面之間的距離呈函數關系。如圖1所示，為傳感器原理示意圖，感壓反射面及其支撐膜片和靜止反射面就構成了一個完整的F-P共振式壓力敏感結構。根據薄膜性形變原理，壓力敏感膜片在外界壓力的作用下發生形變，從而改變F-P腔腔長，引起干涉譜變化，通過測量干涉光譜，即可得到作用在壓力敏感膜上的壓力變化，從而達到測量壓力的目的。該結構的特點是靈敏度極高，可感受兩個鏡面之間納米級的位移變化，可滿足500 Pa微小壓力的測量需要。

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在實際應用中，功率分析儀有時需要和外部管理軟件進行通訊，遠程設置測量參數、更改測量模式等。而在功率分析儀所的多個接口中，如何選擇才能使我們的測量更為便捷呢？在進入現場測量之前，我們先了解下市面上功率分析儀通常會的通訊接口：通訊接口標準串口（RS232）通訊線路簡單，只要一根交叉線即可與PC主機進行點對點雙向通訊。線纜成本低，但傳輸速度慢、不適于長距離通訊。消費類PC機也逐漸取消了該接口，目前多存在于工控機及部分通信設備中。

(2) 傳感器的儀器校準原理

在傳感器探頭確定的情況下，參數k1,k的值可以通過公式直接計算求得，而溫度敏感系數k2以及補償修正常數C則需要通過校準實驗才能確定。

將被校傳感器與壓力、溫度標準具置于同一載荷環境，通過標準具得到壓力、溫度的標準量，通過解調模塊得到傳感器的輸出值。將標準輸人量與被校傳感器的輸出值繪制成傳感器的校準曲線，再根據校準數據采用*小二乘法確定傳感器的工作直線，用工作直線反映傳感器的輸人和輸出之間的關系，從而確定k2及C的取值。通過校準曲線與工作直線的比較，可以計算得到被校傳感器的靜態基本性能指標。

量器具校驗泰州-審廠 同步檢測是一項實用的技術，它可通過許多儀器儀表應用提取低于噪底的嵌入低電平信號。：測量非常小的電阻，測量在強背景光下光的吸收或反射，或者甚至在高噪聲電平的情況下進行應變測量。當頻率接近直流時，許多電氣和物理系統都會有更高的噪聲。，運算放大器有1/f的噪聲，并且露天光學測量系統會受日光、白熾燈、熒光燈和其他光源造成的環境光照條件變化產生的噪聲影響。如果可以使測量遠離這些低頻噪聲源，則可以獲得更高的信噪比并檢測出弱得多的信號。