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世通儀器關于高溫微壓力傳感器校準實的研究

在航天領域，常常需要在惡劣環境下實時測量環境的各種相關參量，其中就包括微小壓力測量。由于測試工作處于高溫、高熱流、強電磁干擾、劇烈振動等惡劣的條件下，并且待測壓力微小，此外還要求小型化、低功耗，故而傳統的硅微壓力傳感器已難以滿足測試需求。

帶寬、采樣率和存儲深度是數字示波器的三大關鍵指標。相對于工程師們對示波器帶寬的熟悉和重視，采樣率和存儲深度往往在示波器的選型、評估和測試中為大家所忽視。這篇文章的目的是通過簡單介紹采樣率和存儲深度的相關理論結合常見的應用幫助工程師更好的理解采樣率和存儲深度這兩個指針的重要特征及對實際測試的影響，同時有助于我們掌握選擇示波器的權衡方法，樹立正確的使用示波器的觀念。在始了解采樣和存儲的相關概念前，我們先回顧一下數字存儲示波器的工作原理。
相比之下光纖壓力傳感器有著無可比擬的優勢:測量精度高、抗電磁干擾能力良好、絕緣性能好、性能穩定等，因此光纖壓力傳感器*接近測試需求。F-P光纖壓力傳感器更是以極高的測量靈敏度和精度、成熟的微壓測量技術成為*，且只需在探頭結構上輔以耐高溫技術手段，使其能夠適應高溫環境，即能*終滿足測試的要求。

高溫微壓力傳感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高溫材料外殼和支撐架，部件連接采用固體焊接等耐高溫工藝，實現了在無引壓管情況下對800℃高溫介質微小壓力的直接測量，并且通過對性敏感組件等易損件采取專門的限位、加固措施，提高了抗沖擊、振動能力。
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固緯電子新推出的數字存儲示波器，采用自行研發的波形圖像技術，大幅度提升了波形捕獲率和波形顯示能力，稱之為VPO（VisualPersistenceOscilloscope）技術。代的模式示波器（CRT顯示，如a）采用的是模擬電路電子向內表面涂熒光物質的屏幕發射電子束，電子束經過X軸和Y軸兩個偏轉電場后在屏幕上顯示波形。由于熒光物質的不同，波形圖像能夠在顯示器上保持一段時間，能清楚地觀察信號的變化細節。
為了在地面實驗室模擬傳感器的實際測量環境，我們設計了一種適用于高溫微壓力傳感器的儀器校準實驗系統，通過高低溫真空試驗裝置和人機軟件的結合，為儀器校準了一個穩定可靠、安全便捷的實驗。

1、傳感器測量原理

(1) 微壓力測量原理

高溫微壓力傳感器采用的是F-P干涉敏感原理，根據Fabry-Perot共振效應，F-P共振腔反射光的波長變化與兩反射面之間的距離呈函數關系。如圖1所示，為傳感器原理示意圖，感壓反射面及其支撐膜片和靜止反射面就構成了一個完整的F-P共振式壓力敏感結構。根據薄膜性形變原理，壓力敏感膜片在外界壓力的作用下發生形變，從而改變F-P腔腔長，引起干涉譜變化，通過測量干涉光譜，即可得到作用在壓力敏感膜上的壓力變化，從而達到測量壓力的目的。該結構的特點是靈敏度極高，可感受兩個鏡面之間納米級的位移變化，可滿足500 Pa微小壓力的測量需要。

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電壓暫降目前被公認為電子業危害的電能質量問題。芯片測試儀:電壓低于85%時，測試儀停止工作，芯片、主板被毀壞工業機器人：由機器人控制對金屬部件進行鉆、切割等精密的機械工具，為保證產品質量和安全，工作電壓檻值一般設為90%，當電壓低于此值、持續時間超過40～60ms時，被跳閘。變頻調速器：當電壓低于70%且持續時間超過120ms時，ASD被切除。而對于一些精細業中的電機，當電壓低于90%且持續時間超過60ms時，電機就會跳閘而退出運行。

(2) 傳感器的儀器校準原理

在傳感器探頭確定的情況下，參數k1,k的值可以通過公式直接計算求得，而溫度敏感系數k2以及補償修正常數C則需要通過校準實驗才能確定。

將被校傳感器與壓力、溫度標準具置于同一載荷環境，通過標準具得到壓力、溫度的標準量，通過解調模塊得到傳感器的輸出值。將標準輸人量與被校傳感器的輸出值繪制成傳感器的校準曲線，再根據校準數據采用*小二乘法確定傳感器的工作直線，用工作直線反映傳感器的輸人和輸出之間的關系，從而確定k2及C的取值。通過校準曲線與工作直線的比較，可以計算得到被校傳感器的靜態基本性能指標。

檢測設備外校寧德-認證中心疫苗安全事件 近，山東省濟南市 機關通報了一起“價值數億元疫苗未經低溫冷藏與運輸便直接流入18省份”的案件。這起案件一經披露，就極大引發了公眾對于疫苗安全性這個問題的關注。并且隨著這起案件的進一步，揭露出有九家品企業在這起疫苗案中起到的推手作用，造成了惡劣的社會影響，讓不少群眾對疫苗接種產生了一種談虎色變的反應，更讓公眾對當前的醫監管產生了質疑，為何對疫苗冷鏈溫度監測這一關乎群眾安全的監管出現如此嚴重的缺失。