楚雄儀器校驗認證機構

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校準過程中，校準點數通常取6～11，校準循環次數通常取3～5，具體大小取決于被校傳感器的精度和使用要求。

2、校準實驗系統設計

儀器校準實驗系統由高低溫真空試驗裝置和上位機人機軟件組成，其中使用壓力薄膜規和鎳鉻熱電偶分別作為壓力、溫度參量基準，使用解調模塊讀出被校傳感器的輸出，系統結構如圖2所示。

原子吸收光譜法，是基于氣態的基態原子外層電子對紫外光和可見光范圍的相對應原子共振輻射線的吸收強度來定量被測元素含量為基礎的分析方法，是一種測量特定氣態原子對光輻射的吸收的方法。此法是20世紀50年代中期出現并在以后逐漸發展起來的一種新型的儀器分析方法，它在地質、冶金、機械、化工、農業、食品、輕工、生物醫、環境保護、材料科學等各個領域有廣泛的應用。該法主要適用樣品中微量及痕量組分分析。每一種元素的原子不僅可以發射一系列特征譜線，也可以吸收與發射線波長相同的特征譜線。

(1) 高低溫真空實驗裝置

高低溫真空實驗裝置是為了模擬傳感器實際測量環境而專門設計的，可以實現壓力、溫度的復合加載，由腔體、壓力控制系統、溫度控制系統和水冷循環系統等部分組成。

1) 腔體結構

腔體是高低溫試驗裝置的核心部分，通過隔板分為載荷室和環境室兩個腔室。載荷室模擬傳感器前端接觸到的外界環境，如高溫、近真空、微小壓力，即殼體外表面環境;環境室模擬傳感器后端的工作環境，也就是殼體內部的環境。腔室結構示意圖如圖3所示。

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印刷電路板（PCB）是集成各種電子元器件的信息載體，在電子領域中有著廣泛的應用，其質量直接影響到產品的性能。在PCB過程中，PCB上的元器件普遍采用表面貼片技術。隨著電子科技技術的發展和電子業的發展，電子產品趨于更輕、更小、更薄化。PCB板作為現代電子設備的重要組成部分，由于貼片元器件體積小，密度大，這就要求PCB板的集成度進一步提高。為了保證電子產品的性能，PCB板缺陷檢測技術已經成為電子行業中非常關鍵的技術。

為了實現對載荷室溫度、壓力的復合加載，在載荷室的四周放置鎳鉻加熱板加熱，并帶有熱屏蔽板，使用兩根鎳鉻熱電偶測量載荷室環境溫度，作為參考溫度基準。在室溫～375℃的范圍內，其測量精度為±1.5℃;在375～800℃的范圍內，其測量精度為0.4%。通過壓力控制系統調節載荷室內環境壓力，使用MKS公司626系列壓力薄膜規作為參考壓力基準，其壓力測量范圍0.2～266 Pa,測量精度0.12%。

2) 壓力控制系統

壓力控制系統能夠將載荷室和環境室抽至高真空狀態，此外還可以調節載荷室內環境壓力。它由機械泵、分子泵、限流閥、壓控儀、氣體流量計等部件組成。其中限流閥、壓控儀用于腔室內壓力的控制，氣體流量計用于調節補氣流量大小。

系統控制邏輯如圖4所示。壓控儀接收參數設置信號，與薄膜規測量信號進行比較，根據比較結果調節限流閥度的大小，經過不斷地調節控制*終達到動態平衡，使得載荷室內氣壓等于設定壓力值。此外，可以根據設定壓力的大小調節補氣閥度大小，例如若要達到一個較大的壓力值，則可以適當增大補氣流量，使得載荷室內氣壓更快地上升到設定壓力。

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使用組合透鏡系統對物體成像，實現加電時液晶透鏡區域清晰，具有大視場、局部高分辨率的效果。本文通過實驗測量分析模組光圈與液晶透鏡匹配、液晶透鏡位置等對于成像質量的影響。研究方向：液晶透鏡成像系統測試目的：展示成像系統對于局部區域的清晰成像效果，測量不同位置、不同光圈下成像系統的MTF，分析其對于成像質量的影響。測試設備:相機、鏡頭、函數發生器、功率放大器ATA-24組合透鏡系統放大器型號:AigtekATA-242實驗過程：1.實驗室液晶透鏡，并通過干涉法獲取波前信息，分析得到zernike系數，得到液晶透鏡的性能參數，以選擇合適的驅動電壓；成像系統，對不同區域的物體進行成像實驗；使用ISO12233板對成像系統進行對焦測試，測試不同光圈、不同液晶透鏡位置的MTF值。

3) 溫度控制系統

系統采用鎳鉻加熱板加熱，通過調節加熱電流的大小達到控溫的目的。加熱電源采用PID控制系統，可以使載荷室從室溫快速加溫到800℃，并且溫度可調、控溫。

4) 水冷循環系統

系統配有水冷循環系統用于系統整體的冷卻，其中載荷室配置TC WS制冷循環水機，控溫范圍為10～27℃，給腔室、分子泵等穩定的制冷循環水，保證設備穩定運行。

(2) 上位機人機軟件

為了方便高溫微壓力傳感器的儀器校準試驗，我們使用FameView組態軟件編寫了上位機人機軟件。該軟件主要用于實時監控載荷室和環境室的壓力、溫度狀況，此外還具有數據存儲功能。軟件通過RS232協議與PLC進行通信，經由PLC控制高低溫真空試驗裝置各個組件，實現了通過計算機遠程控制的目的。

圖5為該軟件載荷室壓力監控界面，當壓力設定增大時，由于需要補氣故響應速度較慢，相比之下，壓力設定減小時響應迅速。

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下面通過其計算方法的簡單，結合實例討論三種諧波模式的使用。諧波測量基本原理目前 常用的諧波分析方法是使用傅里葉變換，將時域的離散信號進行傅里葉級數展，得到離散的頻譜，從離散的頻譜中挑選出各次諧波對應的譜線，計算得出諧波各項參數。在實際實現時，由于離散傅里葉變換存在“柵欄效應”，采樣頻率不為基波的整數倍時，部分諧波可能不在離散傅里葉變換后的離散頻率點上，需要使用特殊的手段將柵欄空隙對準我們關心的諧波頻率點。